ОТДЕЛ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ СИСТЕМ И ПРОЦЕССОВ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ

  • Кадровый состав
  • Основные результаты
  • Сотрудничество
  • Подготовка кадров
  • Оборудование
  • Публикации
  • Контакты
     

Установка для нанесения тонких пленок Spin Coater-VTC-100 (MTI)

Прибор для нанесение жидкого материала на быстровращающуюся (500-8000 об/мин) заготовку (4“ wafer Max) с целью получения тонкого равномерного слоя покрытия.

 

 



+7(423)2-215-284

ОТДЕЛ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ СИСТЕМ И ПРОЦЕССОВ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ
 webmaster